檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "黃柏仁".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="氮化鋁"
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本研究目的在於設計一陶瓷膜取代LIGA製程中所使用的高分子光阻,實驗初期以薄膜電阻率為首要考量條件,篩選現有的商用陶瓷鍍層,並選用薄膜電阻率最高的氮氧化鈦薄膜與次高的碳氮化鉻薄膜作為取代高分子光阻之…
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本論文分為兩部分,第一部分探討不同氮氣流量下成長之氮化鋁,其晶粒大小對漏電流的影響。第二部分探討探討不同厚度的氮化鋁鈍化層,其等效固定電荷 Qeff、絕緣層陷阱電荷密度Not 以及介面缺陷密度Dit…